2024年9月24日,由上海市科技創業中心組織的“2024上海高新技術成果轉化百佳表彰會”在上海大零號灣科創大廈會議中心隆重召開。此次表彰會議上,上海新陽干法蝕刻清洗液項目榮獲“2024年上海市高新技術成果轉化項目自主創新十強”的榮譽稱號。
上海新陽干法蝕刻清洗液項目于2009年立項,通過十多年自主研發,開發了針對晶圓鋁工藝和銅工藝干法刻蝕后殘余聚合物的清洗液,實現特定納米以上技術節點集成電路制造銅工藝和鋁工藝的全覆蓋,一舉突破國外企業的技術封鎖,填補了國內技術空白,完成了國產替代,為“卡脖子”關鍵工藝材料的持續創新注入了“新動能”。
這份榮譽既是對上海新陽干法蝕刻清洗液項目的肯定,也是對上海新陽一直以來不斷創新、勇于突破精神的嘉獎。上海新陽將以此為激勵,持續開發新項目,攻克核心技術難關,為加速半導體芯片產業國產替代的進程而貢獻力量!